产品描述

美科瑞电子碳化硅精抛液旨在帮助客户提高衬底质量，降本增效。

该产品采用进口高纯度硅溶胶作为主要原料，氧化硅粒径分布均匀，分散性好。结合特制的配方，用于改善晶圆衬底的表面质量。使用简便，易清洗。

产品及性能

■ 特殊化学活性纳米磨料

■ 高去除率，1.5 - 6 微米/小时

■ 高表面质量，表面粗糙度 RMS < 1 Å

■ （on a 5 x 5 μm² AFM scan ）

推荐应用

■ 单晶碳化硅晶圆/衬底，碳面/硅面

■ 多晶及陶瓷碳化硅